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紅外光源
提供不同尺寸、不同規(guī)格的MEMS紅外光源定制芯片。紅外光源工藝流程如下:
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超聲波傳感器
提供MEMS超聲波傳感器定制芯片。超聲波傳感器工藝流程如下:
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叉指電極
提供各類(lèi)MEMS生物醫(yī)療器件定制芯片,包括叉指電極、三電極共面電極。
硅針/柔性針
硅針/柔性針主要用在神經(jīng)元檢測(cè)、葡萄糖檢測(cè)等。針長(zhǎng)可達(dá)到15mm。
微熱板氣體傳感器
提供不同尺寸、不同加熱電極、不同加熱溫度的MEMS微熱板氣體傳感器定制芯片。微熱板工藝流程如下:
FBAR濾波器
提供FBAR濾波器定制芯片。FBAR濾波器工藝流程如下:
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壓力傳感器
提供擴(kuò)散硅壓阻式力傳感器、多晶硅壓阻式壓力傳感器、SOI( Silicon on Insulator
通孔微結(jié)構(gòu)
提供不同開(kāi)口孔徑和不同厚度的硅基通孔定制芯片,用于病毒細(xì)胞和蛋白質(zhì)篩選。
基因轉(zhuǎn)錄組芯片
玻璃基全面的亞細(xì)胞級(jí)轉(zhuǎn)錄組芯片,為疾病的診斷治療及藥物研發(fā)提供更有力的決策依據(jù)。
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