紅外光源

提供不同尺寸、不同規(guī)格的MEMS紅外光源定制芯片。紅外光源工藝流程如下：

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超聲波傳感器

提供MEMS超聲波傳感器定制芯片。超聲波傳感器工藝流程如下：

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叉指電極

提供各類(lèi)MEMS生物醫(yī)療器件定制芯片，包括叉指電極、三電極共面電極。

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硅針/柔性針

硅針/柔性針主要用在神經(jīng)元檢測(cè)、葡萄糖檢測(cè)等。針長(zhǎng)可達(dá)到15mm。

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微熱板氣體傳感器

提供不同尺寸、不同加熱電極、不同加熱溫度的MEMS微熱板氣體傳感器定制芯片。微熱板工藝流程如下：

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FBAR濾波器

提供FBAR濾波器定制芯片。FBAR濾波器工藝流程如下：

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壓力傳感器

提供擴(kuò)散硅壓阻式力傳感器、多晶硅壓阻式壓力傳感器、SOI( Silicon on Insulator

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通孔微結(jié)構(gòu)

提供不同開(kāi)口孔徑和不同厚度的硅基通孔定制芯片，用于病毒細(xì)胞和蛋白質(zhì)篩選。 

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基因轉(zhuǎn)錄組芯片

玻璃基全面的亞細(xì)胞級(jí)轉(zhuǎn)錄組芯片，為疾病的診斷治療及藥物研發(fā)提供更有力的決策依據(jù)。

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