工藝流程反向

包括芯片制造工藝反向、芯片封裝工藝反向、器件封裝工藝反向、芯片版圖提取和PCB版圖提取。

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微觀結(jié)構(gòu)分析

MEMS芯片形貌、膜層結(jié)構(gòu)、粗糙度、能譜分析等

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可靠性及失效分析

MEMS器件可靠性驗證，殘余應(yīng)力測試，失效分析等

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MEMS芯片拆解

包括無損分析、芯片開蓋、拾取芯片、去層剖解、染色分析、表面和大斷面結(jié)構(gòu)及成分分析等，涉及的芯片包括溫濕度傳感器、氣體傳感器、紅外傳感器、流量傳感器、壓力傳感器、壓電器件、慣性傳感器及生物類MEMS器件等

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正向器件設(shè)計

包括有限元仿真、膜層設(shè)計和版圖繪制。

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材料表征

MEMS和半導體材料成分分析，微量及痕量元素表征，電學和力學性能測試等

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